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    懸臂漿

    懸臂漿

    摘要說明 :

    反應燒結碳化硅懸臂漿,是半導體晶圓裝載系統的關鍵部件。光伏新能源行業用的碳化硅槳,主要規格2378毫米,2550毫米,2660毫米等,應用在擴散爐中對多晶硅硅片或單晶硅硅片的(擴散)涂層

    詳情:

    反應燒結碳化硅懸臂漿,是半導體晶圓裝載系統的關鍵部件。光伏新能源行業用的碳化硅槳,主要規格2378毫米,2550毫米,2660毫米等,應用在擴散爐中對多晶硅硅片或單晶硅硅片的(擴散)涂層過程中,對硅片在高溫環境中(1000---1300℃)的承載輸送作用。
    產品特點:
    1、在高溫環境下不變形,晶片裝載力大;
    2、耐極冷急熱,使用壽命長;
    3、懸臂漿熱膨脹系數極小,極大地延長了維護清洗的周期。
    主要用途:懸臂漿性能穩定,在高溫環境下不變形,晶圓裝載力大,適用于機器人自動裝載和搬運系統。由于懸臂漿截面穩定不變形,使得利用現有的爐管制備更大規格晶圓成為可能。
    具體規格尺寸可按照客戶要求制作

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